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名 称：盛美半导体设备（上海）股份有限公司认 证：工商信息已核实
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产品分类
产品简介
TEBO----用于先进器件的清洗技术
主要优势
智能兆声波技术
使用便捷
精确控制
减少成本、保护环境
特性和规格
*多可配至12套清洗腔体, 产能可达375 片/小时
具有双面清洗能力, *多可配至5种清洗药液，工艺灵活
*多可以回收2种药液
使用高温IPA干燥技术
配备TEBO智能兆声波组件
集成式药液供给模块，可供给DHF，SC1，SC2, 功能水，二氧化碳水等
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